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天津永利达实验室设备有限公司坐落于中国北方环渤海经济中心-天津，是一家专门从事实验室仪器、实验室家具研发、生产和销售的企业，自成立至今一直致力于各领域的研发和探索，依靠的生产线和-的-技术不断推陈出新。

三个单轴加速度敏感单元直接封装成三轴加速度传感器。这种实现方式增加了三轴加速度传感器的体积和封装成本，而且在封装过程中由于各单轴传感器的正交失配，三轴加速度传感器的交差灵敏度是不可避免的，从而导致传感器的性能退化。

由单一块和若干弹性梁构成多自由度的加速度传感器，加速度传感器-个振动模分别传感加速度的三个分量。然而，设计和制造这种单芯片的三轴加速度传感器非常复杂，而且在不同敏感方向具有相同的性能充满挑战。